（1）熟悉系統：要詳細了解系統狀態(tài)及各種參數，繪出工藝流程圖或布置圖。

（2）調查事故：收集事故案例，進(jìn)行事故統計，設想給定系統可能發(fā)生的事故。

（3）確定頂上事件：要分析的對象即為頂上事件。對所調查的事故進(jìn)行全面分析，從中找出后果嚴重且較易發(fā)生的事故作為頂上事件。

（4）確定目標值：根據經(jīng)驗教訓和事故案例，經(jīng)統計分析后，求解事故發(fā)生的概率（頻率），以此作為要控制的事故目標值。

（5）調查原因事件：調查與事故有關(guān)的所有原因事件和各種因素。

（6）畫(huà)出故障樹(shù)：從頂上事件起，逐級找出直接原因的事件，直至所要分析的深度，按其邏輯關(guān)系，畫(huà)出故障樹(shù)。

（7）分析：按故障樹(shù)結構進(jìn)行簡(jiǎn)化，確定各基本事件的結構重要度。

（8）事故發(fā)生概率：確定所有事故發(fā)生概率，標在故障樹(shù)上，并進(jìn)而求出頂上事件（事故）的發(fā)生概率。

（9）比較：比較分可維修系統和不可維修系統進(jìn)行討論，前者要進(jìn)行對比，后者求出頂上事件發(fā)生概率即可。

（10）分析：原則上是上述10個(gè)步驟，在分析時(shí)可視具體問(wèn)題靈活掌握，如果故障樹(shù)規模很大，可借助計算機進(jìn)行。目前我國故障樹(shù)分析一般都考慮到第7步進(jìn)行定性分析為止，也能取得較好效果。