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2014-08-12 09:20 來(lái)源于網(wǎng)絡(luò ) 【大 中 小】【打印】【我要糾錯】
MEMS壓力傳感器是具有電源、接口電路、執行器、微型傳感器和信號處理的微型的機電系統。它可以使用在制作工藝和電路設計上，低成本而高精度地進(jìn)行大量的生產(chǎn)。其實(shí)傳統的壓力傳感器是在當金屬彈性體受到外力的作用而導致變形的時(shí)候，經(jīng)過(guò)機械量的彈性的變形，然后待電量轉換之后再輸出，因此，MEMS壓力傳感器的優(yōu)越性有很多，尺寸很小，性?xún)r(jià)比很高。它主要分為兩種：硅電容式和硅壓阻式。
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